सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वैक्यूम चक

एक सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक लिथोग्राफी मशीन में वर्कपीस टेबल का मुख्य कार्य वेफर्स और मास्क को ले जाना और एक्सपोज़र प्रक्रिया को पूरा करना है, और इसका प्रदर्शन सीधे उपज और रिज़ॉल्यूशन को प्रभावित करता है। उच्च - गति प्राप्त करने के लिए तालिका के लिए आवश्यकताएं और नैनोस्केल अल्ट्रा - सटीक आंदोलन की स्वतंत्रता के छह डिग्री की गति और छह डिग्री और सटीक आंदोलन, वर्कपीस टेबल की स्थिति सटीकता को 10 एनएम तक पहुंचने के लिए आवश्यक है, जो कि 150 से कम हो। 33 एनएम लिथोग्राफी और 10 एनएम लाइन चौड़ाई लिथोग्राफी का संकल्प, 500 एनएम/एस की मास्क स्कैनिंग गति, और एक बहुत उच्च वर्कपीस टेबल मूवमेंट की आवश्यकता होती है, और इसे बहुत उच्च गति की आवश्यकता होती है। 33 एनएम पंजीकरण सटीकता और 10 एनएम लाइनविड्थ के साथ 100 एनएम रिज़ॉल्यूशन लिथोग्राफी के लिए, मास्क स्कैनिंग गति 500 ​​एनएम/एस के करीब है, और वर्कपीस स्टेज को बहुत उच्च गति सटीकता और चिकनाई की आवश्यकता होती है।

सिलिकॉन कार्बाइड उच्च शक्ति, उच्च कठोरता, लोच के उच्च मापांक, उच्च विशिष्ट कठोरता, उच्च तापीय चालकता, थर्मल विस्तार के कम गुणांक और उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता के साथ एक उत्कृष्ट संरचनात्मक सिरेमिक सामग्री है। सिलिकॉन कार्बाइड में लोच, थर्मल चालकता और थर्मल विस्तार के मध्यम गुणांक का एक बहुत उच्च मापांक होता है, इसमें उत्कृष्ट पॉलिशबिलिटी होती है, इसे उच्च - गुणवत्ता दर्पण की सतह में संसाधित किया जा सकता है, और विरूपण और थर्मल तनाव का उत्पादन करना आसान नहीं है।

सिरेमिकस्टाइम्स, कंपनी के सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक, उन्नत सिरेमिक तैयारी और प्रसंस्करण प्रौद्योगिकी के साथ, शानदार विशेषज्ञ आर एंड डी टीम के प्रोफेसरों और डॉक्टरों से बना है, पाउडर फॉर्मूलेशन और उपचार से महारत हासिल करना, गठन, बिलेट प्रोसेसिंग, सिन्टरिंग, प्रिसिजन मशीनिंग और प्रेसिजन ग्राइंडिंग और अन्य उन्नत सिरेमिक सामग्री का निर्माण। विशेषज्ञ क्रमशः अनुसंधान: नाइट्राइड, ऑक्साइड, कार्बाइड और अन्य उन्नत सिरेमिक सामग्री और समग्र सिरेमिक; 30 से अधिक चीनी पेटेंट के लिए आवेदन किया। उत्पादों को चित्र के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है और व्यापक रूप से दुनिया भर के 50 से अधिक देशों और क्षेत्रों को बेचा जाता है।

1. उच्च शक्ति

2. उच्च कठोरता

3। उच्च लोचदार मापांक

4। उच्च विशिष्ट कठोरता

5. उच्च तापीय चालकता

6.low थर्मल विस्तार गुणांक

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