एल्युमिनियम नाइट्राइड-एल्युमिनियम ऑक्साइड सिरेमिक वैक्यूम सक्शन कप

सिरेमिक वैक्यूम चक एक ही सिरेमिक सामग्री से नहीं बनाए जाते हैं, बल्कि इसमें अन्य सामग्रियों के साथ मिलकर उच्च प्रदर्शन वाले संरचनात्मक सिरेमिक के आसपास निर्मित एक प्रणाली शामिल होती है।

• एल्युमिना सिरेमिक (Al₂O₃): सबसे अधिक उपयोग किया जाता है, जो उच्च लागत {{0} प्रभावशीलता प्रदान करता है। उत्कृष्ट घिसाव प्रतिरोध, विद्युत इन्सुलेशन और यांत्रिक शक्ति की विशेषता, अधिकांश सामान्य प्रयोजन अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त।
• एल्यूमिनियम नाइट्राइड सिरेमिक (एएलएन): असाधारण रूप से उच्च तापीय चालकता और सिलिकॉन से मेल खाने वाले थर्मल विस्तार गुणांक द्वारा विशेषता। मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है, जिसमें तेजी से, समान ताप/शीतलन की आवश्यकता होती है, जैसे वेफर बॉन्डिंग, लिथोग्राफी और नक़्क़ाशी।
• सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक (SiC): इसमें सभी उम्मीदवार सामग्रियों के बीच उच्चतम कठोरता (लोच का मापांक) और थर्मल चालकता होती है, जो बेहद कम थर्मल विस्तार गुणांक के साथ मिलकर होती है। असाधारण सपाटता और थर्मल स्थिरता की मांग वाले चरम अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त, लेकिन यह सबसे महंगा विकल्प भी है।

• सिरेमिक वैक्यूम चक असाधारण वायुरोधीता प्रदर्शित करते हैं: सिरेमिक सब्सट्रेट के भीतर आंतरिक चैनल और सिरेमिक और धातु घटकों के बीच सीलबंद इंटरफेस सहित पूरे वैक्यूम सर्किट को कड़े वायुरोधी मानकों को पूरा करना होगा। परीक्षण में आमतौर पर हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर रिसाव डिटेक्टरों का उपयोग किया जाता है, जो बेहद कम रिसाव दर (उदाहरण के लिए, <1x10⁻⁹ Pa·m³/s या उससे कम) की मांग करते हैं।
• उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध: उच्च मोह कठोरता खरोंच का प्रतिरोध करती है, जिससे दीर्घकालिक सतह परिशुद्धता और विस्तारित सेवा जीवन सुनिश्चित होता है। उदाहरण के लिए, एल्यूमिना सिरेमिक कठोरता में हीरे और सिलिकॉन कार्बाइड के बाद दूसरे स्थान पर है।
• उच्च कठोरता (लोच का उच्च मापांक): न्यूनतम विरूपण होता है। वैक्यूम सक्शन बल के तहत, ग्रिपर स्वयं नगण्य झुकने या विरूपण प्रदर्शित करता है, जो लिथोग्राफी जैसी नैनोस्केल प्रक्रियाओं के लिए महत्वपूर्ण वर्कपीस की पूर्ण सपाटता की गारंटी देता है।

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