चैम्बर सम्मिलित करें

उत्पाद विवरण

सेमीकंडक्टर निर्माण के अत्याधुनिक क्षेत्र में, एल्यूमिना सिरेमिक चैम्बर इंसर्ट महत्वपूर्ण प्रक्रिया चैम्बरों के लिए अस्तर और कोर उपभोग्य सामग्रियों के रूप में काम करते हैं। अपने असाधारण भौतिक गुणों के साथ, वे चिप नक़्क़ाशी, पतली फिल्म जमाव (सीवीडी/पीवीडी), और आयन आरोपण जैसी मुख्य प्रक्रियाओं के लिए एक स्थिर, शुद्ध और टिकाऊ प्रतिक्रिया वातावरण प्रदान करते हैं। उनका प्रदर्शन सीधे प्रक्रिया परिशुद्धता, उत्पादन उपज और उपकरण संचालन लागत को प्रभावित करता है।

उत्पाद प्रदर्शन

• असाधारण प्लाज्मा संक्षारण प्रतिरोध: नक़्क़ाशी और सीवीडी प्रक्रियाओं के दौरान, कक्ष उच्च {{0}ऊर्जा, अत्यधिक प्रतिक्रियाशील प्लाज़्मा (उदाहरण के लिए, फ्लोरीन - या क्लोरीन - आधारित) से भरे होते हैं। उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना सिरेमिक अत्यधिक रासायनिक जड़ता प्रदर्शित करते हैं, ऐसे प्लाज़्मा से बमबारी और रासायनिक क्षरण का प्रभावी ढंग से विरोध करते हैं।
• असाधारण शुद्धता और कम संदूषण: 99.9% एल्यूमिना सिरेमिक्स {{1}और यहां तक ​​कि 99.99% एल्यूमिना सिरेमिक्स {{3}की उच्च शुद्धता उच्च तापमान और प्लाज्मा स्थितियों के तहत धातु आयनों (उदाहरण के लिए, Na, K, Fe) या अन्य अशुद्धियों की न्यूनतम रिहाई सुनिश्चित करती है।
• सुपीरियर उच्च {{0} तापमान स्थिरता और कम आउटगैसिंग दर: उच्च {{1} तापमान {{2} प्रतिरोधी एल्यूमिना सिरेमिक 1600 डिग्री पर दीर्घकालिक स्थिरता बनाए रखता है। उनके अपेक्षाकृत कम थर्मल विस्तार गुणांक के परिणामस्वरूप बार-बार थर्मल साइक्लिंग के दौरान न्यूनतम विरूपण होता है।
• असाधारण यांत्रिक शक्ति और कठोरता: सिरेमिक होने के बावजूद, उच्च शुद्धता वाला एल्यूमिना सिरेमिक उत्कृष्ट लचीली ताकत और कठोरता (मोह कठोरता 9, हीरे के बाद दूसरा) प्रदर्शित करता है। यह यांत्रिक तनाव और असेंबली भार का सामना करता है, जिससे चैम्बर संरचनात्मक अखंडता सुनिश्चित होती है।
• उत्कृष्ट इन्सुलेशन गुण: एक बेहतर विद्युत इन्सुलेटर के रूप में, यह धातु के गुहाओं से प्लाज्मा को प्रभावी ढंग से अलग करता है, प्लाज्मा आकृति विज्ञान और वितरण के सटीक नियंत्रण में सहायता करता है।
• थर्मल शॉक प्रतिरोध: अनुकूलित सामग्री फॉर्मूलेशन और माइक्रोस्ट्रक्चरल नियंत्रण के माध्यम से, आधुनिक एल्यूमिना संरचनात्मक सिरेमिक उन्नत थर्मल शॉक प्रतिरोध प्रदर्शित करते हैं, जो उन्हें प्रसंस्करण के दौरान तेजी से तापमान में उतार-चढ़ाव का सामना करने और क्रैकिंग के जोखिम को कम करने में सक्षम बनाता है।

उत्पाद व्यवहार्यता

• मुख्य कक्ष की सुरक्षा: प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न प्रतिक्रिया उप-उत्पादों (यदि फिल्म सामग्री और उप-उत्पाद कण) को महंगे और कठिन साफ-सुथरे स्थायी कक्ष की दीवारों और महत्वपूर्ण घटकों पर सीधे जमा होने से रोकता है, जिससे मुख्य उपकरण की सेवा जीवन में काफी वृद्धि होती है और रखरखाव की लागत कम हो जाती है।
• प्रक्रिया की स्वच्छता बनाए रखें: संदूषकों और उपोत्पादों को पकड़कर कक्ष के भीतर कण स्रोतों को कम करें। जब सम्मिलित सतहें अत्यधिक मोटी हो जाती हैं या अत्यधिक दूषित हो जाती हैं, तो उन्हें सीधे बदला जा सकता है, जिससे चैम्बर की सफाई तेजी से बहाल हो जाती है और उत्पाद की उपज सुरक्षित हो जाती है।
• प्रक्रिया प्रदर्शन को अनुकूलित करें: कुछ आवेषण (यदि गैस वितरण प्लेटें हैं) सीधे प्रक्रिया में भाग लेते हैं, जिससे चैम्बर के भीतर प्रतिक्रिया गैसों का समान वितरण सुनिश्चित होता है। यह फिल्म जमाव या नक़्क़ाशी में एकरूपता की गारंटी देता है।

गुणवत्ता नियंत्रण

प्रमाणपत्र और सम्मान

कारखाने की ताकत

हमारी डिजिटल वर्कशॉप, इंटेलिजेंट फैक्ट्री और वास्तविक समय में डेटा अधिग्रहण सिस्टम अपशिष्ट को कम करने और संसाधन दक्षता को अधिकतम करने के लिए लीन मैन्युफैक्चरिंग सिद्धांतों का लाभ उठाते हैं। सीएनसी मशीनिंग प्रौद्योगिकी, औद्योगिक इंटरनेट ऑफ थिंग्स (आईआईओटी) प्रौद्योगिकी और स्वचालित नियंत्रण प्रणालियों को शामिल करके, हम उत्पादन उपकरणों के बीच निर्बाध कनेक्टिविटी और सहयोगात्मक संचालन प्राप्त करते हैं, जिससे उत्पादन बचत अधिकतम होती है।