हाल ही में, घरेलू सामग्री विज्ञान और प्रौद्योगिकी उद्यमों ने सफलतापूर्वक एक नए प्रकार के सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक सामग्री को शुद्धता के साथ 99 . 999%के रूप में उच्च विकसित किया है, और यह सफलता सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरणों के प्रदर्शन और विश्वसनीयता में काफी सुधार करेगी, जो कि सेमीकॉन्डक्टर प्रोसेस के साथ होती है। घरेलू अर्धचालक उपकरणों के उन्नयन के लिए यह तकनीकी सफलता महत्वपूर्ण सामग्री सहायता प्रदान करती है।
तकनीकी सफलता हाइलाइट्स:
1. अल्ट्रा-हाई प्योरिटी कंट्रोल: मेटल अशुद्धता सामग्री को 0 . 1ppm से नीचे से नियंत्रित किया जाता है, जो कि 7NM और नीचे प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा करते हुए, अभिनव वाष्प चरण जमाव प्रक्रिया और शुद्धि प्रौद्योगिकी के माध्यम से 1ppm है।
2. उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन: 270W/mk . की थर्मल चालकता के साथ 1000 डिग्री पर स्थिर प्रदर्शन
3. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: मजबूत एसिड, मजबूत ठिकानों और प्लाज्मा संक्षारक वातावरण के लिए प्रतिरोधी .
अर्धचालक उपकरण अनुप्रयोग लाभ:
1. नक़्क़ाशी उपकरण: धातु संदूषण को कम करने और नक़्क़ाशी एकरूपता में सुधार करने के लिए कैविटी अस्तर सामग्री के रूप में उपयोग किया जाता है
2. एपिटैक्सियल ग्रोथ: एपिटैक्सियल लेयर की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए ट्रे और बेस के रूप में उपयोग किया जाता है .
3. आयन इम्प्लांटेशन: पारंपरिक क्वार्ट्ज घटकों को बदल देता है और उपकरण रखरखाव अंतराल का विस्तार करता है .}
सिरेमिकस्टाइम्स के एक विशेषज्ञ ने कहा, "सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग महीन प्रक्रिया नोड्स की ओर बढ़ रहा है, और उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सेरामिक्स अगली पीढ़ी के उपकरणों के लिए एक महत्वपूर्ण सामग्री बन जाएगी . यह सफलता प्रभावी रूप से अर्धचालक उपकरणों के लिए आयातित सामग्रियों पर चीन की निर्भरता को कम करेगी .}"
वर्तमान में, सामग्री ने प्रमुख घरेलू अर्धचालक उपकरण निर्माताओं के सत्यापन परीक्षणों को पारित कर दिया है और 5 जी और आर्टिफिशियल इंटेलिजेंस जैसी उभरती हुई प्रौद्योगिकियों के तेजी से विकास के साथ 2024. की चौथी तिमाही में बड़े पैमाने पर उत्पादन प्राप्त करने की उम्मीद है, उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सेरामिक्स के बाजार की मांग बढ़ेगी, और यह अपेक्षित है कि 2026 तक 2026 तक यह होगा कि 2026 तक 2026 की उम्मीद है। युआन .
व्यापार की गतिशीलता:
सिरेमिकस्टाइम्स ने एक विशेष उत्पादन लाइन बनाने के लिए 500 मिलियन युआन का निवेश किया, 200 तक की परियोजना की वार्षिक उत्पादन क्षमता को पूरा करने के लिए, 000 टुकड़ों, प्रभावी रूप से घरेलू अर्धचालक उपकरण निर्माताओं की जरूरतों को पूरा करेगा . एक ही समय में, एंटरप्राइज एक प्रकार के शोध संस्थानों के साथ काम कर रहा है, जो कि अधिक सेमीटर के साथ काम कर रहा है।
यह तकनीकी सफलता न केवल घरेलू उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक के खाली को भरती है, चीन के अर्धचालक उपकरणों का अधिक स्वतंत्र नियंत्रण एक महत्वपूर्ण सामग्री गारंटी प्रदान करता है, अर्धचालक उद्योग श्रृंखला . की स्थानीयकरण प्रक्रिया को दृढ़ता से बढ़ावा देगा।
